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激光與光電子學進展(2022年09期)
Laser & Optoelectronics Progress

  • 基本信息
  • 國外激光

    中國科學院上海光學精密機械研究所

    半月

  • 1006-4125

    31-1690/TN

    上海市

    中文;

    大16開

    4-179

    1964

  • 出版信息
  • 信息科技

    物理學

    20525篇

  • 4172007次

    96396次

  • 評價信息
  • 2.362

    1.692

  • INSPEC 科學文摘(英)(2024)

    JST 日本科學技術(shù)振興機構(gòu)數(shù)據(jù)庫(日)(2024)

    CSCD 中國科學引文數(shù)據(jù)庫來源期刊(2023-2024年度)

    WJCI 科技期刊世界影響力指數(shù)報告(2023)來源期刊

    1992年(第一版),2004年版,2008年版,2011年版,2014年版,2017年版,2020年版,2023年版

    中國國際影響力優(yōu)秀學術(shù)期刊;

目 錄

  • 芯片制造語境下的計算光刻技術(shù)
  • 極紫外光刻光源的研究進展及發(fā)展趨勢
  • 光刻機運動臺控制方法研究進展
  • 極紫外(EUV)光刻膠的研發(fā)
  • 先進光刻技術(shù)的發(fā)展歷程與最新進展
  • 深紫外計算光刻技術(shù)研究
  • 計算光刻研究及進展
  • 先進計算光刻
  • 步進掃描投影光刻機照明系統(tǒng)技術(shù)研究進展
  • 光刻投影物鏡畸變檢測技術(shù)
  • 面向IC光刻的超精密運動臺控制技術(shù)
  • 浸沒式光刻機浸液系統(tǒng)污染控制研究現(xiàn)狀及進展
  • 光刻調(diào)焦調(diào)平測量技術(shù)的研究進展
  • 光刻技術(shù)中的聚焦控制
  • 激光外差干涉技術(shù)在光刻機中的應用
  • 超精密高速激光干涉位移測量技術(shù)與儀器
  • 面向光刻機晶圓臺的超精密光柵定位技術(shù)
  • 準分子激光光刻光源關(guān)鍵技術(shù)及應用
  • EUV光刻三維掩模成像研究進展
  • 極紫外光刻掩模缺陷檢測與補償技術(shù)研究
  • 光刻套刻誤差測量技術(shù)
  • 多層壓電驅(qū)動器在光刻機中的應用
  • 集成電路制造在線光學測量檢測技術(shù):現(xiàn)狀、挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢
  • 系統(tǒng)工程方法及其在先進半導體裝備領(lǐng)域的應用
  • 亞十納米導向自組裝與深紫外混合光刻技術(shù)
  • 下一代光刻機技術(shù)的探索:第六代雙光束超分辨光刻機概念、技術(shù)和未來
  • 激光超衍射光刻原理與技術(shù)
  • 數(shù)字微鏡無掩模光刻技術(shù)進展及應用
  • 光刻技術(shù)六十年
  • “光刻技術(shù)”專題前言
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