基于微形變分析的電容式MEMS加速度計溫漂誤差精密估計方法

摘要： 針對傳統(tǒng)的電容式微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度計(capacitive MEMS accelerometers, CMA)溫漂誤差(temperature drift error, TDE)補(bǔ)償方法存在非精準(zhǔn)溯源TDE致使TDE估計精度低、反復(fù)嘗試估計模型構(gòu)型導(dǎo)致構(gòu)建過程復(fù)雜繁瑣的問題，提出基于微形變分析的CMA ... （共9頁）