基于非色散紅外光譜的可調(diào)光程痕量氣體檢測系統(tǒng)

摘要： 針對紅外痕量氣體檢測系統(tǒng)體積大、檢測精度低和最低檢測限高等問題，研制了基于非色散紅外（NDIR）光譜的可調(diào)光程痕量氣體檢測系統(tǒng)。利用該系統(tǒng)實現(xiàn)了4種痕量氣體的高精度檢測，設計并制作了可調(diào)光程氣體吸收池及集成化紅外氣體傳感器的關(guān)鍵部件結(jié)構(gòu)。為達到最佳光程和光能利用率，基于懷特池結(jié)構(gòu)，以主副鏡片相對位置最佳為優(yōu)化目標，借助光學仿真軟件進行光路優(yōu)化，得到不同氣體對應的最佳光程及副鏡位... （共10頁）