基于光柵耦合技術(shù)的光子芯片傳感測(cè)試系統(tǒng)

摘要： 隨著光子芯片技術(shù)的快速發(fā)展，先進(jìn)的光電芯片測(cè)試系統(tǒng)受到越來越多的研究關(guān)注。然而，現(xiàn)有光子芯片測(cè)試系統(tǒng)主要針對(duì)通信芯片的需求開發(fā)，缺少對(duì)環(huán)境參量的控制功能，難以滿足傳感芯片的研發(fā)需求。本文報(bào)道了一種基于光柵耦合技術(shù)的光子芯片傳感測(cè)試系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)光柵自動(dòng)耦合、環(huán)境控制與感知、數(shù)據(jù)處理與交互等功能，并利用此系統(tǒng)完成了基于微環(huán)諧振腔光學(xué)芯片的氣體濃度傳感與溫度傳感實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明，在常... （共9頁）