干涉測量中低頻振動的頻譜分析

摘要： 為了降低振動對移相干涉測量的影響，對振動信號進行頻譜分析，分離出對低頻振動有貢獻的頻譜信號，由此驗證了PSI(phase-shifting interferometry)算法在2倍移相頻率處對振動更加敏感的事實。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的PSI測量步驟，再結(jié)合牛頓廣義二項式定理，推導(dǎo)出多頻率振動影響因子γ，通過Matlab軟件仿真了由標(biāo)準(zhǔn)PSI算法求出的相位誤差以及多頻率振動影響因子γ處理后的... （共6頁）