寬帶溫度補(bǔ)償型聲表面波濾波器的設(shè)計(jì)與優(yōu)化

摘要： 提出了一種寬帶溫度補(bǔ)償型聲表面波濾波器的設(shè)計(jì)方法。通過(guò)研究鈮酸鋰襯底不同歐拉角、不同電極材料和厚度對(duì)聲表面波諧振器頻率響應(yīng)和雜散抑制的影響，確定了寬帶溫度補(bǔ)償型聲表面波濾波器的最佳切向和電極結(jié)構(gòu)。所制備的寬帶聲表面波濾波器的溫度系數(shù)優(yōu)于-18.9×10^-6/℃,-3 dB相對(duì)帶寬為7.84%,插入損耗為0.93 dB,展現(xiàn)出良好的帶外抑制。 （共5頁(yè)）