中國光學十大進展：三維無機微納結(jié)構(gòu)的激光加工與應(yīng)用（特邀）

摘要： 三維（3D）無機微納結(jié)構(gòu)在光子學、量子信息、航空航天、能源等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。利用傳統(tǒng)制備方法獲得的無機微結(jié)構(gòu)通常分辨率較低和形貌不可控。因此，3D無機微納結(jié)構(gòu)的精確可控制備成為亟待解決的難題。激光加工具有高精度、形貌可控等優(yōu)勢，能夠?qū)崿F(xiàn)真3D、高分辨、多尺度復(fù)雜3D微納結(jié)構(gòu)的制備，解決3D無機微納結(jié)構(gòu)的精確可控制備難題。本文綜述了激光加工制備無機微納結(jié)構(gòu)的研究進展，首先討論... （共15頁）