新型扭轉(zhuǎn)梁結(jié)構(gòu)的電磁驅(qū)動式MEMS微鏡

摘要： 為了提高M(jìn)EMS(Micro-electro-mechanical system)微鏡工作時的可靠性，設(shè)計了一款鏡面尺寸為5 mm×6 mm，搭載新型扭轉(zhuǎn)梁結(jié)構(gòu)的電磁驅(qū)動式MEMS微鏡。利用有限元分析算法對MEMS微鏡進(jìn)行仿真，提高其運(yùn)動模態(tài)的設(shè)計合理性，并對所設(shè)計的結(jié)構(gòu)完成工藝制備和封裝。所制備的二維MEMS微鏡具有工藝簡單、制造成本低、轉(zhuǎn)角穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。測試結(jié)果表明，搭載... （共8頁）