硅基電光調(diào)制器研究進(jìn)展（特邀）

摘要： 電光調(diào)制器作為光互連、光通信、光傳感等系統(tǒng)中的核心器件，負(fù)責(zé)電-光信號(hào)轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵功能。基于絕緣體上硅（SOI）的硅基電光調(diào)制器，具有尺寸緊湊、調(diào)制效率高、兼容CMOS工藝等優(yōu)勢(shì)，不僅一直是學(xué)術(shù)研究的熱點(diǎn)，并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模的商用部署。人工智能技術(shù)的普及和大型數(shù)據(jù)中心的興起，則進(jìn)一步推動(dòng)電光調(diào)制技術(shù)的發(fā)展和創(chuàng)新。本文將從自由載流子等離子色散效應(yīng)和直流克爾效應(yīng)兩種硅基電光調(diào)制的基... （共12頁(yè)）