集成化光纖陀螺用高寬深比氮化硅光引擎芯片

摘要： 針對慣性導航系統(tǒng)對光纖陀螺小型化和低成本的迫切需求，提出并設計了一種基于高寬深比氮化硅波導的集成化光纖陀螺用光引擎芯片。該芯片可兼具光源耦合、分束、傳輸和起偏等片上功能。光引擎芯片主要由兩個1×2多模干涉（MMI）分束器和起偏器構成。通過Lumerical FDTD對芯片的重要參數(shù)進行仿真計算，確定MMI分束器的尺寸，為15μm×200μm。該芯片偏振消光比可達33 dB，且分... （共8頁）