垂直腔面發(fā)射激光器陣列的熱設(shè)計研究進(jìn)展

摘要： 垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)通常采用由小尺寸發(fā)光單元并聯(lián)的2維陣列結(jié)構(gòu)來提高輸出光功率、改善激光光束質(zhì)量，然而隨著芯片尺寸不斷縮小以及陣列集成度不斷提高，由VCSEL單元自身功耗引起的自加熱效應(yīng)及各單元之間的熱耦合效應(yīng)將導(dǎo)致VCSEL陣列結(jié)溫急劇上升，在熱-光-電反饋作用下，將嚴(yán)重制約VCSEL陣列的光學(xué)性能及熱可靠性，對VCSEL陣列熱設(shè)計提出了迫切要求。在闡明VCSEL... （共13頁）