基于SiN平板波導(dǎo)光柵的128通道光學(xué)相控陣

摘要： 為了避免全硅光學(xué)相控陣(OPA)的輸出光功率飽和現(xiàn)象以及氮化硅的低移相效率，采用硅與氮化硅相結(jié)合的設(shè)計(jì)思路，在實(shí)現(xiàn)高功率輸入的同時(shí)保證了調(diào)相效率；此外，硅基集成OPA為了避免通道間的相互耦合所引起的相位噪聲，波導(dǎo)間距大于半波長，導(dǎo)致柵瓣的存在，進(jìn)而使得掃描范圍受限，故采用硅波導(dǎo)作為天線前的輸入波導(dǎo)，以減小陣元間距。結(jié)果表明，芯片最終實(shí)現(xiàn)了41°×7.4°的掃描范圍以及10.7 ... （共6頁）