用于VOCs氣體探測的制冷型紅外探測器

摘要： 隨著紅外技術(shù)的發(fā)展，制冷紅外探測器在氣體探測領(lǐng)域發(fā)揮出重要作用。介紹了國內(nèi)外關(guān)于制冷紅外氣體探測器的研究情況，并詳細(xì)闡述了近期浙江玨芯微電子有限公司在揮發(fā)性有機(jī)物（volatile organic compounds,VOCs）氣體探測器方向上的研究進(jìn)展。通過窄帶低溫濾光片設(shè)計(jì)、雜散輻射抑制及探測器組件工藝等方面的關(guān)鍵技術(shù)研究，實(shí)現(xiàn)了制冷紅外氣體探測器的制備，在此基礎(chǔ)上對探測器... （共8頁）