基于InAs/GaAsSb超晶格的中紅外波導(dǎo)探測器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（英文）

摘要： 在近紅外領(lǐng)域，已經(jīng)利用片上波導(dǎo)和諧振器實(shí)現(xiàn)了分子的光譜檢測。然而在中紅外波段，許多傳感器仍使用芯片外光源和探測器，這限制了化學(xué)傳感芯片的集成度和靈敏度。本文設(shè)計(jì)了一種InAs/GaAsSb超晶格中紅外波導(dǎo)集成探測器，采用GaAsSb作為中紅外波導(dǎo)，波導(dǎo)層和InAs/GaAsSb超晶格吸收層之間采用倏逝波耦合方式，可以實(shí)現(xiàn)低損耗和高響應(yīng)度的中紅外光探測。對(duì)器件的光電特性進(jìn)行了模擬... （共7頁）