單片集成式中波碲鎘汞偏振焦平面陣列（英文）

摘要： 本文提出了一種中波640×512(25μm)的碲鎘汞偏振焦平面陣列。從線柵結(jié)構(gòu)優(yōu)化和串?dāng)_抑制的層面，對微偏振片陣列進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)；探索了一種低損傷的片上制備工藝，經(jīng)驗(yàn)證，該工藝與碲鎘汞器件兼容良好。在完成微偏振片陣列的片上集成后，NETD仍能保持在9.5 mK以下。進(jìn)一步地，為揭示主導(dǎo)消光比的潛在作用機(jī)制，設(shè)計(jì)了特殊的微偏振片陣列排布方式，從實(shí)驗(yàn)上證明了串?dāng)_效應(yīng)是影響消光比的主... （共11頁）