8.5μm高性能長波紅外量子級聯(lián)激光器的光學(xué)腔面鍍膜研究（英文）

摘要： 通過研究和優(yōu)化長波紅外量子級聯(lián)激光器（LWIR QCLs）的光學(xué)腔面增透（AR）膜，可提高器件的輸出性能。與Al₂O₃膜系相比，Y₂O₃ AR膜表現(xiàn)出更高的腔面光學(xué)災(zāi)變（COMD）水平，兩種膜系的光學(xué)腔面鍍膜均無光束轉(zhuǎn)向效應(yīng)。對激射波長為8.5μm的3 mm腔長、9.5μm脊寬掩埋異質(zhì)結(jié)（BH)LWIR QCL使用Y₂O₃膜系的金屬高反（HR）膜和反射率約0.2%的... （共6頁）