同步輻射掃描透射X射線顯微成像系統振動的閉環(huán)控制方法研究

摘要： 上海同步輻射光源（Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF）掃描透射X射線顯微成像（Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM）實驗站是國內首個自主研制的STXM實驗系統，目前該系統波帶片聚焦直接成像分辨率達到15 nm，掃描相干衍射成像方法成像的分辨率達到7.32 nm。系統振動是影響... （共11頁）