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STEM朗奇圖和電子束斑模擬插件

電子顯微學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù): 6 2024-08-15
摘要: 在掃描透射電子顯微鏡(STEM)中,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率的關(guān)鍵在于精確的像差校正,這通常依賴于朗奇圖的測(cè)量和優(yōu)化。對(duì)于STEM的新手而言,理解和優(yōu)化朗奇圖是一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)性的任務(wù),往往需要長(zhǎng)時(shí)間的實(shí)踐積累才能掌握。本研究介紹了一種朗奇圖及電子束斑模擬分析插件,用戶可直接調(diào)整各種像差參數(shù)(包括像散、球差、慧差等),實(shí)時(shí)觀察這些參數(shù)變化如何影響朗奇圖,從而更直觀地理解各種像差對(duì)朗奇圖和電... (共6頁(yè))

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