寬頻段振動干擾不敏感的白光干涉測量

摘要： 傳統(tǒng)白光干涉測量方法對振動干擾非常敏感，振動干擾會引起掃描步長誤差，進而降低白光干涉的測量精度。為抑制振動干擾的影響，提出一種三點反正弦的白光干涉測量算法。三點反正弦法將干涉圖序列中每相鄰三幅分為一組，利用掃描過程中干涉條紋連續(xù)移動的特點，從每組干涉圖的有效條紋區(qū)域計算出相移偏差，進而得到每幅干涉圖的實際掃描步長?；谟嬎愕膶嶋H掃描步長，構(gòu)建了非等步長的調(diào)制度與相位最小二乘計算... （共10頁）