基于雙面多級微結(jié)構(gòu)的柔性電容式壓力傳感器

摘要： 柔性壓力傳感器作為可穿戴智能設(shè)備的重要組成部分，在人體行為監(jiān)測、電子皮膚系統(tǒng)等方面有廣泛的應(yīng)用。為了進一步利用微結(jié)構(gòu)對柔性傳感器靈敏度的提升效果，采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)與碳黑(CB)、多壁碳納米管(MWCNTs)混合成導(dǎo)電材料并復(fù)制砂紙表面微結(jié)構(gòu)作為上下電極層，用PDMS復(fù)制弧形凸起和砂紙微結(jié)構(gòu)組成雙面微結(jié)構(gòu)介電層，設(shè)計成基于雙面多級微結(jié)構(gòu)的柔性電容式壓力傳感器。兩種微... （共8頁）