碰撞輻射模型診斷大氣壓雙頻氬等離子體電子密度和電子溫度的二維分布

摘要： 利用發(fā)射光譜結(jié)合碰撞輻射模型(OES-CRM),探究大氣壓雙頻(2.00 MHz、13.56 MHz)等離子體的放電特性。使用CCD相機(jī)結(jié)合帶通濾波片拍攝特定波長(zhǎng)(694.3 nm、750.0 nm)譜線強(qiáng)度的二維圖像，通過碰撞輻射模型計(jì)算等離子體電子密度和電子溫度的軸向分布和二維空間分布。試驗(yàn)中，分別改變低頻電源和高頻電源的功率，探究高頻分量和低頻分量對(duì)放電的影響。結(jié)果表明：... （共7頁）