基于空頻特征融合的雙流晶圓缺陷分類(lèi)網(wǎng)絡(luò)

摘要： 晶圓缺陷模式分類(lèi)在晶圓制造過(guò)程中扮演著至關(guān)重要的角色，準(zhǔn)確識(shí)別晶圓缺陷能夠確定缺陷產(chǎn)生的根本原因，進(jìn)而定位生產(chǎn)流程中的問(wèn)題。然而，現(xiàn)有深度學(xué)習(xí)晶圓缺陷分類(lèi)方法僅從空間域或者頻率域出發(fā)進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)，未能實(shí)現(xiàn)空頻信息的相互補(bǔ)充與融合，限制了晶圓缺陷分類(lèi)準(zhǔn)確性的進(jìn)一步提高。針對(duì)這一問(wèn)題，提出了一種基于空間域和頻率域特征融合的雙流晶圓缺陷分類(lèi)網(wǎng)絡(luò)—SFWD-Net。該網(wǎng)絡(luò)利用提出的多尺... （共12頁(yè)）