傾斜結(jié)構(gòu)對LiTaO₃-POI多層結(jié)構(gòu)的SAW諧振器性能的影響

摘要： 旨在探究傾斜結(jié)構(gòu)在LiTaO₃-POI多層結(jié)構(gòu)上對SAW諧振器橫向模態(tài)雜散的影響。通過有限元方法(FEM),構(gòu)建兩種單端口諧振器模型，半周期P為0.98μm和1.42μm,孔徑均為40P。然后對一系列傾斜角度(0°,2.5°,5°,7.5°,10°,12.5°,15°,17.5°,20°)進(jìn)行了仿真分析，并完成版圖繪制和流片測試。研究結(jié)果表明，實(shí)測數(shù)據(jù)與仿真結(jié)果之間具有高度一... （共7頁）