基于單傳感器的晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償研究

摘要： 半導(dǎo)體晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償是提高晶圓校準(zhǔn)器定位精度的關(guān)鍵技術(shù)，為此提出一種基于單傳感器的晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償方法，可有效避免在裝置中引入多傳感器等輔助設(shè)備帶來的新誤差和多次標(biāo)定問題。該方法采用集合平均和小波閾值去噪的雙重濾波法降低采集信號的隨機(jī)噪聲，通過數(shù)理統(tǒng)計誤差分離法精確分離高信噪比測量信號中混入的圓度誤差；同時根據(jù)多步法計算準(zhǔn)確的回轉(zhuǎn)誤差，利用得到的誤差... （共10頁）