一種無附加運(yùn)動(dòng)二級(jí)縮小微動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及性能分析

摘要： 為實(shí)現(xiàn)更小縮小比進(jìn)而獲得更高運(yùn)動(dòng)精度的靈活運(yùn)動(dòng)空間，設(shè)計(jì)了一種無附加運(yùn)動(dòng)的二級(jí)縮小微動(dòng)機(jī)構(gòu)及壓電陶瓷致動(dòng)器組成的微動(dòng)系統(tǒng)，并對(duì)其驅(qū)動(dòng)性能、運(yùn)動(dòng)性能和動(dòng)態(tài)性能進(jìn)行研究?；谌嵝糟q鏈杠桿原理及附加運(yùn)動(dòng)平衡原理，設(shè)計(jì)了一種無附加運(yùn)動(dòng)的二級(jí)縮小微動(dòng)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)輸入位移精密縮??；采用壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)二級(jí)縮小微動(dòng)機(jī)構(gòu)，組成二級(jí)縮小微動(dòng)系統(tǒng)；采用有限元法完成系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)性能、運(yùn)動(dòng)性能及動(dòng)態(tài)性能... （共8頁）