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基于弧形邊緣結構上極板的數(shù)字微流控芯片系統(tǒng)

微納電子技術 頁數(shù): 8 2024-12-15
摘要: 為降低微尺度液滴在介電潤濕(EWOD)基板上的轉移難度,提出了一種基于弧形邊緣結構上極板的數(shù)字微流控芯片系統(tǒng),可順利完成液滴在開放區(qū)和封閉區(qū)之間的輸運。從數(shù)字微流控芯片的基本原理出發(fā),介紹了該芯片的結構設計、制造工藝及平臺構建,并對此系統(tǒng)中液滴在兩區(qū)運動時兩極板間距、液滴體積及上極板橫向位置對驅動電壓的影響進行了研究。實驗結果表明:基于氧化銦錫(ITO)玻璃的上極板與基于鉻板的... (共8頁)

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