面向混流晶圓比例的單臂組合設備自適應調度

摘要： 為解決混流加工使得晶圓的制造過程容易發(fā)生死鎖和完工節(jié)點模糊的問題，以主流的全并行加工兩種晶圓的單臂組合設備為研究對象，建立了Petri網(wǎng)模型描述系統(tǒng)運行過程，開發(fā)了控制策略以避免系統(tǒng)死鎖；基于該Petri網(wǎng)模型分析了盡早加工調度策略運行下系統(tǒng)的調度時間特性，針對單個生產(chǎn)監(jiān)控周期內共享模塊品種切換的不同情形，確定了監(jiān)控周期內機械手的動作循環(huán)序列；以晶圓產(chǎn)出比例為調度目標，開發(fā)了一... （共11頁）