基于WOA優(yōu)化FNN-PID的單晶硅加熱爐爐溫控制

摘要： 針對單晶硅加熱爐爐溫控制的大慣性、強耦合、長調(diào)節(jié)時間等問題，提出了基于鯨魚優(yōu)化算法(WOA)的優(yōu)化模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(FNN)比例-積分-微分(PID)算法。通過測試實驗裝置的溫度推算出模型表達式，采用WOA進行迭代尋優(yōu)，得到合適的PID參數(shù)，利用FNN對PID參數(shù)進行實時調(diào)整，以實現(xiàn)動態(tài)解耦。通過仿真軟件進行仿真驗證，并在搭建的模型上分別進行階躍響應(yīng)實驗和信號跟隨實驗。仿真結(jié)果表明... （共9頁）