基于石墨烯材料表征的原子力顯微分析測(cè)試條件探究

摘要： 原子力顯微鏡（AFM）是石墨烯材料結(jié)構(gòu)形貌表征最常用的儀器，但AFM測(cè)試條件的選擇和控制對(duì)于能否真實(shí)地反映石墨烯材料的結(jié)構(gòu)形貌信息起著決定作用，由此對(duì)利用AFM用于石墨烯材料的厚度和粗糙度的測(cè)試條件進(jìn)行研究。探究石墨烯材料厚度測(cè)量過(guò)程中的基底以及測(cè)量模式，并對(duì)自制的石墨烯單晶晶圓和氧化石墨烯（GO）納米片的粗糙度測(cè)量過(guò)程中的探針類(lèi)型進(jìn)行探究。結(jié)果表明，石墨烯材料厚度測(cè)量過(guò)程中，... （共9頁(yè)）