微波PECVD技術(shù)制備高阻隔PET復(fù)合薄膜研究

摘要： 文章通過在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（PET）基底表面沉積一定厚度的高阻隔薄膜，改善PET材料阻隔性能。采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)在PET基底上沉積氧化硅（SiOx）和類金剛石（DLC）阻隔薄膜，研究不同單體比例制備的薄膜結(jié)構(gòu)、微觀形貌和阻隔性能有何異同。結(jié)果表明單體比例的不同，顯著影響SiOx和DLC薄膜的結(jié)構(gòu)、微觀形貌和阻隔性能。一定工藝條件下，SiO_x和D... （共9頁(yè)）