多孔Ti基吸氣劑的分子動(dòng)力學(xué)仿真與性能表征

摘要： 吸氣劑對(duì)維持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System）器件真空度起著至關(guān)重要的作用，目前常見的提升吸氣劑性能的方法是在大比表面積的多孔支架上沉積吸氣劑。為了驗(yàn)證多孔結(jié)構(gòu)對(duì)提升吸氣劑性能的突出作用，使用分子動(dòng)力學(xué)仿真軟件Lammps對(duì)薄膜型吸氣劑和多孔支架吸氣劑的吸附行為進(jìn)行了仿真，仿真結(jié)果表明多孔支架吸氣劑的吸氣量是薄膜型吸氣劑的2.69倍。使用... （共7頁(yè)）