不同制備參數(shù)對多孔TiO₂薄膜光學(xué)性能的影響

摘要： 多孔薄膜的制備工藝是其實(shí)現(xiàn)光學(xué)特性的重要環(huán)節(jié)。采用溶膠-凝膠法，以石英玻璃為基底，在不同工藝條件下制備出了多孔TiO₂薄膜，并通過橢偏儀、分光光度計和白光干涉儀對薄膜光學(xué)性能進(jìn)行了表征和分析，研究了原料配比、鹽酸濃度、致孔劑聚乙二醇（polyethylene glycol,PEG）添加量等工藝參數(shù)對多孔TiO₂薄膜折射率、孔隙率、透射率以及表面形貌的影響，并最終確定出制備多... （共7頁）