晶圓駐留時間約束下雙組合設備協(xié)同調度

摘要： 在半導體晶圓制造中，違反駐留時間約束會導致晶圓損壞，同時，雙組合設備涉及兩個設備間的資源協(xié)調配合，使得調度更加復雜。本文考慮晶圓駐留時間約束，研究了配置全并行加工模塊的雙組合設備的穩(wěn)態(tài)協(xié)同調度問題。首先，構建面向資源的Petri網(wǎng)模型，描述了具有駐留時間約束和全并行加工模塊的雙組合設備的穩(wěn)態(tài)加工過程，提出控制策略防止系統(tǒng)發(fā)生死鎖；其次，通過分析加工模塊的負載和機械手的任務過程，... （共13頁）