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溫變環(huán)境下引腳互連結(jié)構(gòu)長(zhǎng)期可靠性研究及優(yōu)化

微電子學(xué) 頁(yè)數(shù): 6 2024-06-25
摘要: 基于陶瓷基板-金屬管殼引腳互連結(jié)構(gòu),通過(guò)溫度循環(huán)試驗(yàn)與有限元仿真分析,得出了互連結(jié)構(gòu)在溫變荷載作用下的熱應(yīng)力分布圖,研究結(jié)果表明:在長(zhǎng)期溫度循環(huán)試驗(yàn)后,互連結(jié)構(gòu)產(chǎn)生裂紋的主要原因是焊錫、引腳與陶瓷基板之間熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的應(yīng)力積累。給出了引腳互連結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,通過(guò)仿真分析與試驗(yàn)研究,表明優(yōu)化后的互連結(jié)構(gòu)具有更高的長(zhǎng)期可靠性。 (共6頁(yè))

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