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聚二烯丙基二甲基氯化銨對(duì)鎢和SiO2去除速率選擇性的影響

潤(rùn)滑與密封 頁(yè)數(shù)： 7 2024-11-15
摘要： 為了提高鎢(W)和SiO2在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)過(guò)程中的去除速率選擇比，提出將綠色環(huán)保的聚二烯丙基二甲基氯化銨(PDADMAC)作為SiO2去除速率的抑制劑；以普通硅溶膠為磨料，研究酸性?huà)伖庖褐胁煌琍DADMAC添加量對(duì)W和SiO2去除速率以及表面粗糙度的影響，并探究PDADMAC在CMP過(guò)程中對(duì)W和SiO2的不同作用機(jī)制。結(jié)果表明：隨著PDADMAC添加量的增加，W... （共7頁(yè)）

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