面向光學(xué)裝置高精加工的并聯(lián)機器人同步誤差控制策略研究

摘要： 光學(xué)加工機器人是加工超高精光學(xué)器件的主要儀器，但其在超高精加工中存在明顯的同步控制誤差，限制了光學(xué)器件精密度的進一步提升。為了提高光學(xué)加工機器人的加工精度，該研究對其并聯(lián)模塊進行了動力學(xué)分析，并進行了改進優(yōu)化。結(jié)果顯示：經(jīng)過誤差補償后，光學(xué)加工機器人的末端誤差可減小至0.05 mm以下，橫向誤差可減小至0.015 mm以下，縱向誤差可減小至0.005 mm以下。研究提出的光學(xué)加... （共6頁）