高精度空氣靜壓導(dǎo)軌研制

摘要： 為了研制一種適用于高精度加工的空氣靜壓導(dǎo)軌，采用閉式結(jié)構(gòu)保證導(dǎo)軌精度和剛度，通過(guò)構(gòu)建空氣靜壓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)流固耦合仿真模型，分析導(dǎo)軌零部件在流場(chǎng)中的受力形變以校核零件強(qiáng)度，建立偏轉(zhuǎn)精度預(yù)測(cè)模型，在流場(chǎng)空間變化和零件受力變形相互疊加情況下考察導(dǎo)軌精度變化。通過(guò)仿真確定零件、部件形變量分別在0.31、24μm以內(nèi)，導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)滿足強(qiáng)度要求；利用電感測(cè)微儀對(duì)空氣靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行直線度測(cè)量，得到導(dǎo)軌... （共7頁(yè)）