基于銻化銦的印章型高靈敏度太赫茲超表面折射率傳感器設(shè)計(jì)

摘要： 對(duì)一種基于銻化銦材料的太赫茲超表面折射率傳感器進(jìn)行了理論研究和仿真驗(yàn)證。利用頻域有限差分法對(duì)該反射器的反射性能進(jìn)行研究和分析，通過優(yōu)化材料厚度、刻蝕結(jié)構(gòu)周期長度及寬度等，確定了可以同時(shí)提高靈敏度和反射率的特征尺寸并分析了透射和反射光譜。結(jié)果表明，該傳感器在0～1.0 THz工作頻段內(nèi)的最大折射率靈敏度和品質(zhì)因數(shù)分別為620 GHz/RIU和25.2,比傳統(tǒng)的傳感器靈敏度高三倍。... （共6頁）